确保晶圆在干燥过程中保持洁净
在干燥MEMS传感器晶圆时，热量只是其中一半的关键因素。真正的问题在于微粒的污染。在100级洁净室中，哪怕是一小块旧的灯丝碎片或少量从胶水中释放出的物质，都可能立刻毁掉整批传感器。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的成本，但实际上是可以避免的。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。因为这种灯不会产生任何污染。
为什么石英灯如此有效
大多数加热器都是用金属或陶瓷材料制成的。问题在于，这些材料会随着时间的推移而释放出微粒。而我们的石英灯则采用辐射热传递方式，热量直接从灯丝传递到晶圆上，中间没有介质，自然也就不会产生污染物。我们使用的都是高品质的石英材料，即使温度极高，玻璃也不会破裂或释放气体。
功率与热量的平衡
为了实现快速干燥的效果，我们需要在极小的空间内提供大量的能量。虽然这样可以让晶圆快速干燥，但这也意味着灯的表面温度会非常高。如果冷却风扇或散热装置无法胜任这项任务，那么电路或机器框架就有可能过热。在将这类灯安装到狭小的空间里之前，一定要先检查一下空气流动情况。这样可以避免后续出现麻烦。
让操作更简单
我们知道停机时间是最糟糕的情况，因此我们设计了易于更换的灯具结构。我们使用标准的连接器，所以当某个灯泡烧坏后，只需将其取下并换上新的灯泡即可。无需花费数小时来重新校准整个系统。
此外，我们还对石英表面进行了处理，以防止其出现凹痕。这样就能确保整个晶圆表面的温度均匀，这对于那些容易因局部过热而变形的薄型MEMS膜来说非常重要。
最后一点建议：请保持石英表面的清洁。如果在安装过程中让指纹或皮肤油脂留在石英表面上，它们就会嵌入玻璃中。一旦发生这种情况，就需要更换灯泡了。只要戴上手套，保持表面清洁，就能避免这些问题。