SEM 扫描电子显微镜 加热器

在制造车间里，一旦样品台开始出现位移，SEM的检测精度就会立刻下降。在光刻胶固化或关键成像过程中，即使温度仅上升0.5°C，也会导致线宽发生变化、对比度下降，进而需要重新进行质量检测。因此，我们需要一种稳定可靠的加热系统——即能够精确控制温度、且性能可重复的加热系统。 从技术层面来看，什么才是最重...