用于晶圆的精密红外传感器

如何准确控制晶圆的温度（无需再凭猜测行事） 如果您正试图打造一家“智能工厂”，那么您一定明白，手动采样其实是一种极其麻烦的方法。它既慢又繁琐，而且根本无法反映晶圆上实际发生的状况。 这时，高精度红外传感器就派上用场了。它们能够在几毫秒内就能检测出300毫米晶圆的温度分布情况，而且无需接触晶圆本身。...