牛津仪器加热元件

在线上，温度漂移不会带来任何警告标签。它表现为线宽变化、软烘后光刻胶不附着，以及直接写进日报的报废。在晶圆制造和封装过程中，热预算是一条硬性界限——不可协商。 这就是为什么我们为工厂的实际环境设计了Oxford Instruments加热元件。它是一种紧凑、符合洁净室标准的热源，专为光刻烘烤步骤和...