为什么我们要使用红外线固化技术来处理晶圆工具？ 如果你们需要遵循无铅或环保标准，那么你们肯定知道其中带来的压力有多大。不能只是勉强满足这些要求，而必须做到完美达标。这时，红外线固化技术就派上用场了。 想象一下传统的对流式烤箱：它需要加热整个房间才能让一块晶圆升温，这显然是浪费资源的行为。而红外线灯...

在晶圆工位，光刻胶烘烤不是争论点——这是产量，简单明了。软烤或硬烤温度偏差仅半度，就会反映在关键尺寸控制上，颗粒激增则可能导致整批次报废。这就是为什么你设备上的红外灯座需要投入与你对光学和载台同等严格的工程设计。 底层关键点 我们为晶圆设备设计的红外灯座，核心是实现可重复的热传递。选择的近红外源能...