晶圆工具用红外灯座

在晶圆工位，光刻胶烘烤不是争论点——这是产量，简单明了。软烤或硬烤温度偏差仅半度，就会反映在关键尺寸控制上，颗粒激增则可能导致整批次报废。这就是为什么你设备上的红外灯座需要投入与你对光学和载台同等严格的工程设计。 底层关键点 我们为晶圆设备设计的红外灯座，核心是实现可重复的热传递。选择的近红外源能...