红外灯用铝制反射器
如何最大限度地发挥红外加热的优势
在半导体加工领域,时间就是一切。长期以来,我们一直依赖热空气循环来加热水分,但实际上这种方式效率极低。这就好比试图用吹风机来加热一个房间——需要很长时间,而且热量也难以均匀地分布在各个部位。
因此,我们转而使用红外加热技术。这种技术不需要借助气流,而是直接将热量传...
带有金色反射器的红外线灯泡
防止碎片伤害:在使用高功率红外灯时保护晶圆免受污染 说实话,当半导体生产设备中的红外灯出现故障时,那简直就是一场灾难。问题不仅在于机器停止运转,还有那些玻璃碎片和蒸发后的钨元素会掉落在晶圆上。只要有一颗灯管损坏,整批晶圆就都可能被毁掉。这肯定不是大家希望看到的情况。
应对高温问题
我们设计的金反射...
晶圆固化灯用反射器
正确选择反射器以实现晶圆的有效固化 在半导体制造过程中,对晶圆进行固化处理时,实际上是在与高温作斗争。稍有不慎,就可能导致晶圆变形或受到化学污染。 因此,我们通常采用红外光进行固化处理。这种方式能将能量直接传递到晶圆上,无需使用循环热风或各种有害溶剂。这种方式更环保、更高效,也符合我们追求的“绿色...