用于光刻机的石英玻璃防护罩

防止高端设备变成“烤箱” 如果你曾经在半导体生产设备中使用过高功率的红外灯，那么你肯定知道那有多麻烦。一旦打开这些灯，整个设备就会开始吸收大量热量。 这真是个令人头疼的问题。由于没有有效的办法来控制这种辐射，热量不仅会照射到晶圆上，还会四处散射。它会击中设备的内部墙壁，使得整个设备变成一个巨大的散...