应对高负荷加热环境中的晶圆污染问题 在半导体制造厂中，灯管烧毁无疑是一场噩梦。这不仅会导致生产中断，还会造成严重的污染问题。当石英管在高压作用下破裂时，玻璃碎片和各种杂质就会掉落到晶圆上。 正因如此，我们才设计了UHP加热灯。我们的目标就是从源头上避免这种二次污染的发生。 灯管为何会损坏 大多数灯...

在芯片制造车间里，光刻胶的烘烤过程并非简单的加热步骤，而是一个对精度要求极高的过程。无论是软烘还是硬烘，只要温度有2°C的偏差，就可能导致关键尺寸出现纳米级的误差，届时，即使在光刻扫描仪检测到误差之前，这些晶圆已经被视为废品了。因此，加热元件的性能直接决定了整个过程的成败。 至关重要的因素 我们制...