晶圆氧化加热元件

引言 晶圆氧化处理环境极为恶劣。因此，需要一种能够承受持续高温的加热元件——必须能够日复一日地工作，绝不出现故障或失效的情况。 为此，我们设计了專為这种环境而打造的加热灯。我们选用了顶级品质的石英和高纯度钨材料，这些材料绝对可靠。这样一来，加热灯就能持续稳定地工作，而不会过早损坏。 技术细节 在氧...