艾克赛利斯加热元件备件

在晶圆厂车间，离子注入或光阻烘烤设备必须24小时连续运行且温度稳定不漂移。如果某个加热元件性能下降，热均匀性将偏离±0.1℃，光阻轮廓会发生变化。随之而来的是良率下降、返工以及贯穿整个生产线的非计划维护。 技术关键点 Axcelis加热元件备件符合半导体工艺的热预算要求。石英或碳纤维材质的元件加热...