洁净室烤箱红外加热器

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中哪怕只有半度的温度变化，都足以导致关键尺寸出现偏差，从而使得大量晶圆报废。在1级到100级的洁净室中，加热器必须能够提供稳定的温度，同时不能产生任何颗粒物或导致温度波动。因此，我们设计的洁净室用红外加热器是整个流程中的核心部件，而非可有可无的附加设备。 从技术层面来看，...