节能型半导体加热器

为什么我们在半导体加工中放弃热风加热，转而使用红外线加热 想想对流式烤箱的工作原理：先加热空气，再让空气去加热晶圆。这个过程非常缓慢。在高端半导体加工过程中，这样的延迟无疑意味着金钱的浪费。 因此，我们不再依赖那些笨重的鼓风机，而是改用红外线加热方式。与其加热整个房间，不如直接将能量传递到晶圆上。...