停止为真空室加热吧（转而给晶圆加热吧） 如果你曾经在半导体真空室中使用过高功率的红外灯，那么你就会明白其中的问题所在。因为必须不断与热量作斗争。 问题在于，普通的红外灯会将能量向各个方向散发——也就是360度全方位照射。在密闭的真空环境中，大部分热量根本无法接触到晶圆，而是直接照射在真空室的墙壁上...

别再为化学清洁剂的处理问题而烦恼了 说实话，加热易燃或易爆的化学清洁剂实在是一件令人不安的事。如果你使用的是普通的红外灯，那就等于在玩火。哪怕有一点点火花或石英材质出现微小裂缝，都可能引发灾难。 我们认为一定有更好的方法。于是，我们放弃了开放式加热方式，转而采用真空密封式设计。 真空密封系统的工作...