用于晶圆的中波红外加热器

在光刻工厂里，您应该知道：如果烘烤温度出现0.5℃的波动，就可能导致关键尺寸发生纳米级的变化，从而让数小时的光刻工作前功尽弃。而中波红外加热器的作用，就是在这种波动出现之前将其消除。 真正重要的因素是什么？ 中波红外加热器能够将能量直接传递到光阻层和基板上——升温速度快，且温度控制精确。我们能够将...