为什么我们要使用红外线固化技术来处理晶圆工具？ 如果你们需要遵循无铅或环保标准，那么你们肯定知道其中带来的压力有多大。不能只是勉强满足这些要求，而必须做到完美达标。这时，红外线固化技术就派上用场了。 想象一下传统的对流式烤箱：它需要加热整个房间才能让一块晶圆升温，这显然是浪费资源的行为。而红外线灯...

如何准确控制晶圆的温度（无需再凭猜测行事） 如果您正试图打造一家“智能工厂”，那么您一定明白，手动采样其实是一种极其麻烦的方法。它既慢又繁琐，而且根本无法反映晶圆上实际发生的状况。 这时，高精度红外传感器就派上用场了。它们能够在几毫秒内就能检测出300毫米晶圆的温度分布情况，而且无需接触晶圆本身。...

制造氢气传感器需要极高的精度。传感膜必须保持绝对稳定，这就要求热控制必须十分精确。我们设计的加热器就是为了满足这样的严格要求，不过说实话，控制温度其实还算比较容易的。 真正棘手的问题在于电气隔离问题。只要绝缘层上有哪怕一个微小的孔隙，或者石英材料中出现一丝裂纹——这些缺陷几乎难以察觉——整个传感器...

为什么我们选择使用红外固化技术来处理智能传感器 在为智能传感器进行封装时，我们必须确保粘合剂能够完全干燥，芯片也能得到恰当的封装。长期以来，人们一直使用对流式烤箱来达到这一目的。但实际上，那种烤箱就像巨大的吹风机——它只是让房间里的空气变热，从而加热部件。 因此，我们转而使用红外灯。红外灯不会加热...

确保晶圆在干燥过程中保持洁净 在干燥MEMS传感器晶圆时，热量只是其中一半的关键因素。真正的问题在于微粒的污染。在100级洁净室中，哪怕是一小块旧的灯丝碎片或少量从胶水中释放出的物质，都可能立刻毁掉整批传感器。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的成本，但实际上是可以避免的。 因此，我们选择使用高纯度的合...