用于半导体加热器的热电偶

简介 在加热半导体晶圆时，热电偶并不仅仅是一个温度监测装置。它其实是整个系统中的重要组成部分——因为每瓦特的电能都需转化为作用于晶圆上的热量。我们设计的这款热电偶，正是为了与那些采用金涂层来反射红外能量的加热器配合使用而存在的。其目的就是避免能量浪费，让热量能够精确地传递到需要加热的位置。 技术细...