MEMS传感器晶圆干燥加热器

确保晶圆在干燥过程中保持洁净 在干燥MEMS传感器晶圆时，热量只是其中一半的关键因素。真正的问题在于微粒的污染。在100级洁净室中，哪怕是一小块旧的灯丝碎片或少量从胶水中释放出的物质，都可能立刻毁掉整批传感器。这不仅令人沮丧，还会带来高昂的成本，但实际上是可以避免的。 因此，我们选择使用高纯度的合...