蓝宝石晶圆加工加热器

在线上，有一块150毫米厚的蓝宝石晶圆，正等待着进行光刻胶烘烤处理。在这里，温度的微小变化都可能影响工艺效果——哪怕只有半度的温度偏差，都可能让关键尺寸出现偏差；而哪怕只有一颗颗粒的存在，也足以破坏整个生产流程。因此，加热器必须能够适应工艺要求，而不是试图让工艺去适应加热器的限制。 真正重要的因素...