真空室红外线加热器

停止为真空室加热吧（转而给晶圆加热吧） 如果你曾经在半导体真空室中使用过高功率的红外灯，那么你就会明白其中的问题所在。因为必须不断与热量作斗争。 问题在于，普通的红外灯会将能量向各个方向散发——也就是360度全方位照射。在密闭的真空环境中，大部分热量根本无法接触到晶圆，而是直接照射在真空室的墙壁上...