サファイアウェーハ加工用ヒーター

ライン上には、150mmのサファイアウェーハがあり、そこでフォトレジストの焼成処理が行われるのを待っています。ここでは、わずか0.5度の温度変動だけでも重要な寸法に影響を与え、たった1つの粒子が製造プロセスを台無しにしてしまう可能性があります。そのため、ヒーターはプロセスの要件に合わせて調整される...