ファブ内での処理時間を短縮するために：なぜIR硬化法が強制送風式より優れているのか もしまだ強制送風式を使っているのであれば、毎日「時間的なコスト」を支払っていることになります。 空気を加熱する仕組みを考えてみてください。基板が何かを感じる前に、まずはチャンバー全体や壁、そして空気自体を温めなけれ...

ウェーハの硬化処理において、適切な反射器を選ぶことが重要です。半導体製造工場でウェーハを硬化処理する際は、熱という危険な要素を扱っているのです。少しでも間違えると、ウェーハが変形したり、化学的な汚染が生じたりしてしまいます。 そのため、私たちは赤外線を利用した硬化処理を採用しています。赤外線はエネ...