ファブ内での処理時間を短縮するために：なぜIR硬化法が強制送風式より優れているのか
もしまだ強制送風式を使っているのであれば、毎日「時間的なコスト」を支払っていることになります。
空気を加熱する仕組みを考えてみてください。基板が何かを感じる前に、まずはチャンバー全体や壁、そして空気自体を温めなければなりません。これは非常に遅く、非効率的です。
一方、IR硬化ランプはそういう問題がありません。空気を温める必要はなく、エネルギーを直接材料に照射するだけです。
速度の違い
強制送風式には、面倒な熱遅延があります。まるでキッチン全体を温めてから水を沸騰させようとしているようなものです。
しかしIR硬化法なら、瞬時に処理が完了します。樹脂を硬化したり、フォトレジストを乾燥させる際、その「準備時間」はほとんどなくなります。材料が必要とする波長に合わせてエネルギーを照射できるので、部品の周囲の空間を無駄に加熱することもありません。数分かかる作業が数秒に短縮されるのです。これは生産性にとって大きなメリットです。
スペースの節約
強制送風式のオーブンを使わなくなれば、多くのスペースを節約できます。巨大な送風機や煩雑なダクトも不要になります。代わりに、精密なコントローラーに接続されたコンパクトなランプが使えます。最良な点は、加熱範囲を調整できることです。ウェハーやパネル全体の温度分布を細かく調整できるので、乱流によって発生する不均一な高温部分の心配もありません。
欠点（必ず存在するもの）
ただし、IR硬化法は単純に電源を入れて忘れておくだけのものではありません。強力で迅速なエネルギーが照射されるため、出力が適切でないと表面が焼けてしまう可能性があります。ここでは直感に頼ることはできず、表面温度を常に監視するセンサーが必要です。また、冷却システムがツールの端から熱を効果的に取り除けない場合、作業エリアが過度に高温になってしまいます。ゆっくりとした空気の流れに代わって高密度のエネルギーが用いられるため、プロセス制御をより慎重に行う必要があります。