ガラスの破片による被害を防ぎ、ウェーハ処理を清潔に保つ
重負荷の運転中にランプが壊れてしまった経験がある方なら、その不安な気持ちはご存知でしょう。単に停止時間が発生するだけではありません。作業場がガラスの破片や化学物質で覆われてしまい、一括して作成されたウェーハがすべて無駄になってしまうのです。本当に大変な状況です。 私たちは、そういうことが起こらないように、オゾンを発生させない赤外線ランプを特別に開発しました。
オゾンの問題点 通常の短波長ランプは、200ナノメートル未満の波長の光を放出します。これは技術的な話に聞こえますが、実際には、その波長は空気中の酸素と反応してオゾンを生成します。 クリーンルームでは、オゾンは大敵です。オゾンは腐食性があり、有機物を侵食し、化学気相蒸着の過程を妨げます。私たちは、特殊な石英製のケースを使用することでこの問題を解決しました。これにより、真空紫外線の波長が遮断されます。依然として迅速な硬化に必要な高温は得られますが、有害な化学的副作用はありません。
なぜランプが壊れるのか 高負荷の運転では、石英に与えられる熱ストレスが非常に大きくなります。ほとんどのランプは、フィラメントが蒸発して薄くなり、「ホットスポット」ができてしまい、最終的に壊れてしまいます。 これを防ぐために、高純度のハロゲンガスを使用しています。これにより、フィラメントが早期に劣化するのを防ぎます。 また、密封部分も重要です。ピーク出力で運転していると、ランプの中心部と端部の温度差が非常に大きくなります。密封が弱ければ、そこから漏れが始まります。私たちはエンドキャップを強化し、内部圧力を安定させています。
注意すべき点 どんなランプでも完璧というわけではありません。 オゾンを発生させない石英を使用しているため、光の出力は通常の石英とは少し異なります。通常の設定よりも2～5％程度出力を上げる必要があったり、タイマーを調整する必要があるかもしれません。 また、冷却ファンもしっかりチェックしてください。ランプの端部分の熱に耐えられるか確認し、電気接点が壊れないようにしてください。