オゾンフリー赤外線ランプ

ガラスの破片による被害を防ぎ、ウェーハ処理を清潔に保つ 重負荷の運転中にランプが壊れてしまった経験がある方なら、その不安な気持ちはご存知でしょう。単に停止時間が発生するだけではありません。作業場がガラスの破片や化学物質で覆われてしまい、一括して作成されたウェーハがすべて無駄になってしまうのです。本...