UHP 超高純度 ヒーターランプ

高負荷環境下でのウェーハの汚染対策 半導体製造工場において、ランプが壊れることは大きな問題です。単に生産停止だけでなく、廃棄物処理も大変です。重負荷によって石英ケースが破損すると、ガラスの破片や有害な不純物がウェーハ上に散乱してしまいます。 まさにそのために、私たちはUHPヒーターランプを開発しま...