清掃後のウェーハの乾燥方法

製造現場において、洗浄されたウェーハの清潔度は、最終的な乾燥工程で決まります。水痕や微粒子、フォトレジストの付着問題は、不均一な加熱条件や汚染要因に起因しています。洗浄後は、もはや推測の余地はありません。 技術的に重要な点 私たちは、制御された熱供給に基づいて乾燥工程を構築しています。NIR技術を...