ウェーハ用高精度IRセンサー

ウェハの温度を正確に把握する方法（推測に頼らずに） 「スマートファブ」を構築しようとしているなら、手作業によるサンプリングがどれほど非効率的かご存知でしょう。時間がかかり、面倒であり、実際に何が起こっているのかを把握することはできません。 そこで役立つのが高精度のIRセンサーです。これにより、基板...