安全を守る：化学処理エリアでのIRランプの使用について クリーンルーム内で赤外線ヒーターを使用する場合、特に可燃性の洗浄剤がある場所では、そのリスクは非常に高いです。わずかな火花や熱の漏れでも、単なる技術的な不具合にとどまらず、爆発の原因になり得ます。だからこそ、一般的なランプでは不十分なのです。...

クリーンルーム内に熱を供給する際に、汚染を引き起こさない方法とは？ 半導体製造のためのクリーンルームに熱を加えるのは、注意しないと大変なことになります。少しでも間違えると、至る所が汚染されてしまいます。そのため、私たちはトロリータイプのヒーターとして赤外線を利用しています。 強制的な熱風は不要です...

なぜクリーンルーム用の赤外線ヒーターにおいては断熱処理が重要なのか クリーンルームでは、わずかな電気的な故障でさえ許されません。すべてが完璧でなければなりません。こうした場所向けに赤外線ヒーターを製造する際、私たちは単にどれだけの熱を発生させるかだけを考えているわけではありません。電流が本来行くべ...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際にわずか半度だけでも角度が変わってしまうと、重要な寸法が変わり、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターは粒子を発生させず、温度の変動も起こさないように、安定した温度を供給する必要があります。私たち...