リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際にわずか半度だけでも角度が変わってしまうと、重要な寸法が変わり、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターは粒子を発生させず、温度の変動も起こさないように、安定した温度を供給する必要があります。私たちは、このプロセスを支えるための装置として、インフラーレッドヒーターを設計しました。これは単なる追加装置ではありません。
技術的に重要な点 私たちは、応答速度が速く、スペクトル制御が精密な短波長インフラーレッド素子を使用しています。そうすることで、ウェーハやキャリアが直接熱を受け取り、チャンバーの壁面が熱を受け取ることはありません。これにより、加熱領域全体でのウェーハの温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、負荷時の設定温度の安定性も±0.2℃以上です。また、連続して運転しても温度の再現性は0.3℃以下であり、そのためソフトベイクやハードベイクの条件が安定して維持されます。
ヒーターの構造もクリーンルーム向けに設計されており、ガス放出が少ない材料を使用し、接続部も密封されています。外部表面も拭き掃除が可能で、汚染物質が付着する心配がありません。出力は固体状リレーによって制御され、各装置には追跡可能な校正曲線も同梱されています。
なぜ生産現場で役立つのか フォトレジストの処理には厳格な温度管理が求められます。私たちのインフラーレッドヒーターは、ウェーハを迅速に加熱し、過剰な温度上昇を防ぎます。これにより、加熱時間が短縮され、かつフォトレジストの品質が保たれます。また、粒子の発生もほとんどありません。そのため、熱管理によるコスト増もありません。
熱は必要な場所にしか行かず、周囲の空気中には行きません。そのため、エネルギー消費も削減されます。実際の生産現場では、このシステムは24時間365日稼働し、熱サイクルによる停止もほとんどありません。また、メンテナンスも予測可能で、対応が容易です。
準備すべきこと 設置時には、オーブンのコントローラーとのインターフェースを適合させ、既存の供給装置の電圧や電流を確認する必要があります。PID制御を調整するためには、短時間での調整が必要です。
これらのヒーターは、電源電圧の安定性に敏感です。そのため、電源を安定して供給し、温度ノイズが発生しないようにする必要があります。また、検査は日付ではなく、稼働時間に基づいて行う必要があります。そうすることで、プロセスが必要とする場所での温度均一性が保たれます。