ウェハの温度を正確に把握する方法（推測に頼らずに） 「スマートファブ」を構築しようとしているなら、手作業によるサンプリングがどれほど非効率的かご存知でしょう。時間がかかり、面倒であり、実際に何が起こっているのかを把握することはできません。 そこで役立つのが高精度のIRセンサーです。これにより、基板...

有害な化学物質が存在する環境でエミッターを安全に保つ方法 もし、化学洗浄ラインでIRエミッターを使用しているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。そこでは、火災を引き起こす可能性のある蒸気や、触れるものを腐食させてしまう化学物質が存在します。このような環境では、単純な石英と金属のシールだけで...