ウェーハ酸化用ヒーター

はじめに ウェーハの酸化処理というのは、極めて過酷な環境です。日々、激しい熱に耐え続けることができる発熱体が必要です。絶対に故障してはいけません。 そこで私たちは、そのような環境で使える発熱体を開発しました。使用されているのは最高品質の石英と高純度のタングステンです。信頼できる素材です。その結果、...