クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際にわずか半度だけでも角度が変わってしまうと、重要な寸法が変わり、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターは粒子を発生させず、温度の変動も起こさないように、安定した温度を供給する必要があります。私たち...