SEM 走査型電子顕微鏡 用ヒーター

製造現場では、サンプルステージがわずかに動き出すだけで、SEMの検査精度が低下してしまいます。フォトレジストの焼成時や重要な画像形成時に0.5℃の温度変動があるだけで、線幅が変わったりコントラストが変化したりして、再評価が必要になります。信頼性の高い加熱システムが不可欠です。つまり、予測可能で、ク...