ウェハ用中波赤外線ヒーター

ファブの現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、何時間もかけて行われたリソグラフィー作業が台無しになってしまいます。中波赤外線ヒーターは、このような温度変動を未然に防ぐために使われます。 実際に重要なのは何か 中波赤外線ヒーターは、エネルギーを直接フォ...