オックスフォード・インスツルメンツ ヒーターエレメント

ライン上では、温度ドリフトに警告ラベルは付かない。ライン幅の変動、ソフトベイク後に付着しないフォトレジスト、そして日報に記録されるスクラップとして現れる。ウェハ製造およびパッケージングにおいて、サーマルバジェットは厳格な境界であり、交渉の余地はない。 そのため、Oxford Instruments...