なぜIP65対応の赤外線ヒーターが実際に故障するのか（そして、それを防ぐ方法） IP65対応の赤外線ヒーターについてのちょっとした秘密があります。実際、問題はほとんどの場合、発熱体自体にはありません。 本当の問題は、ワイヤーの接続部分にあります。高ワット数のランプを使用すると、その熱は前方だけでな...

グローブボックスをオーブンのように使うのはやめましょう。 半導体製造用のグローブボックスの中で何かを加熱しようとしたとき、実際にはグローブボックス全体が高温になってしまうことがあります。 これはよくあることです。多くの人は通常の抵抗ヒーターを使いますが、それでは空気だけが温められます。その熱い空気...

はじめに ウェーハの酸化処理というのは、極めて過酷な環境です。日々、激しい熱に耐え続けることができる発熱体が必要です。絶対に故障してはいけません。 そこで私たちは、そのような環境で使える発熱体を開発しました。使用されているのは最高品質の石英と高純度のタングステンです。信頼できる素材です。その結果、...

ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる温風を当てるという単純な工程ではありません。これは、寸法精度を保つための重要な工程なのです。ソフトベイクやハードベイクにおいて2℃のわずかな温度変動でも、重要な寸法がナノメートル単位で変化してしまいます。その結果、リソグラフィースキャナーが異常を...

ライン上では、温度ドリフトに警告ラベルは付かない。ライン幅の変動、ソフトベイク後に付着しないフォトレジスト、そして日報に記録されるスクラップとして現れる。ウェハ製造およびパッケージングにおいて、サーマルバジェットは厳格な境界であり、交渉の余地はない。 そのため、Oxford Instruments...