半導体用真空チャンバーで高出力の赤外線ランプを使用したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。常に熱の問題と戦っているのです。 問題は、一般的なランプではエネルギーが360度全方位に散乱してしまうことです。密閉された真空環境では、その熱のほとんどがウェーハに当たることはありません。代わりに...

化学薬品を使った清掃について心配するのはやめましょう。 正直言って、可燃性や爆発性のある清掃用化学薬品を加熱するのは非常に危険です。もし通常のIRランプを使っていると、まるで火遊びをしているようなものです。わずかな火花や石英内の微細なひび割れがあれば、大惨事につながります。 私たちは、もっと良い方...