深紫外線 DUV レジストベイクランプ

リソグラフィーの工程において、ソフトベイク中に0.2℃の温度変動が生じると、それは些細な問題ではなく、歩留まりに悪影響を与えます。DUVフォトレジストは、加熱処理を開始してから数分以内にその重要な寸法が決定されます。ベイク工程では、溶剤の除去やフィルムの応力、エッジ部分の問題を制御します。もし温度...