ウェハの温度を正確に把握する方法（推測に頼らずに） 「スマートファブ」を構築しようとしているなら、手作業によるサンプリングがどれほど非効率的かご存知でしょう。時間がかかり、面倒であり、実際に何が起こっているのかを把握することはできません。 そこで役立つのが高精度のIRセンサーです。これにより、基板...

水素センサーを作るには、極度の精度が求められます。センシング膜が完全に安定していなければならず、それには正確な温度制御が必要です。私たちは、そうした厳しい基準を満たすためのヒーターを開発していますが、実際には、熱を制御するのは比較的簡単な部分です。 本当に厄介なのは、電気的な絶縁です。絶縁体に微細...

なぜスマートセンサーの製造に赤外線硬化技術を採用するのか スマートセンサーを包装する際には、接着剤を適切に乾燥させ、チップも正しく封入する必要があります。長い間、みんなが使ってきたのは対流式オーブンでした。しかし、それは実質的に巨大なヘアドライヤーのようなもので、部品を温めるために部屋中の空気を加...

ウェーハを本当にきれいに乾燥させるために MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室でも、古くなったフィラメントの破片や接着剤の分解物といった微小な粒子が、一瞬で大量のセンサーを破壊してしまいます。これは非常に厄介...