ウェーハを本当にきれいに乾燥させるために
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるとき、熱だけでは不十分です。実際の問題は、微粒子が発生することです。クラス100の清浄室でも、古くなったフィラメントの破片や接着剤の分解物といった微小な粒子が、一瞬で大量のセンサーを破壊してしまいます。これは非常に厄介で、費用もかかりますが、避けられる問題です。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。このランプなら、汚染の心配がありません。
石英が効果的な理由
ほとんどのヒーターは金属製のケースやセラミック部品を使用しています。しかし、これらの材料は時間が経つにつれて微粒子を放出してしまいます。一方、私たちの石英ランプは異なります。放射熱伝達方式を採用しているため、熱が直接フィラメントからウェーハへと伝わります。中間媒体がないため、センサーに汚染物質が付着する心配がありません。また、特別に高純度の石英を使用しているため、高温になってもガラスが壊れたり、ガスが放出されたりすることはありません。
力率と熱量のバランス
迅速にウェーハを乾燥させるためには、多くのワット数を狭い空間に詰め込む必要があります。これにより、ウェーハは素早く乾燥します。しかし、その分、ランプの表面が極端に熱くなります。冷却ファンやヒートシンクが十分でなければ、ソケットや機械のフレームが過熱してしまいます。このような状況を防ぐために、接続部の空気流量をしっかり確認してください。そうすれば、後々のトラブルを避けることができます。
操作を簡単にする工夫
ダウンタイムは大敵です。そのため、このランプは交換が簡単にできるように設計されています。標準的なコネクタを使用しているため、ランプが寿命を迎えても、簡単に取り替えることができます。再調整に時間をかける必要はありません。また、石英表面の腐食を防ぐ処理も施されているため、ウェーハ全体に均一に熱が行き渡ります。これは、高温になると変形してしまう薄いMEMS膜にとって非常に重要です。
最後に、ガラスをきれいに保つことが大切です。取り付け時に指紋や皮脂が付着すると、それがガラスに残ってしまいます。そうなると、永続的な温度差が生じ、ランプを交換する必要があります。手袋を使って、ガラスをきれいに保てば問題ありません。