クリーンルーム内に熱を供給する際に、汚染を引き起こさない方法とは？
半導体製造のためのクリーンルームに熱を加えるのは、注意しないと大変なことになります。少しでも間違えると、至る所が汚染されてしまいます。そのため、私たちはトロリータイプのヒーターとして赤外線を利用しています。
強制的な熱風は不要です。不快な化学溶剤も不要です。純粋で効率的な熱だけが必要です。これが、「無鉛」や環境に優しい目標を達成する最も簡単な方法です。
赤外線が実際にどのように機能するか
考えてみてください。部屋の空気を温めようとするわけではありません。それは時間の無駄であり、ウエハーにほこりが付着する大きなリスクもあります。
代わりに、赤外線エネルギーは直接部品に届きます。まるで寒い日に太陽の下に立っているように、周囲の空気が氷点下であっても、すぐに暖かさを感じられます。このように直接熱が伝わるため、部品の温度上昇が非常に早く、電力の無駄遣いもありません。
設置に関する詳細
トロリータイプのヒーターでは、通常、短波または中波のエミッターを使用します。これにより、狭いスペースで大きな熱量を得ることができます。また、石英製のケースを使用することで、ガスが発生しないため、空気が清潔に保たれます。
安定した温度を維持するためには、PIDコントローラーを使用します。これにより、温度を±1℃以内に保つことができます。非常に精密です。
ただし、注意点があります。パワー密度に注意してください。もしランプからの熱が過剰で、トロリーの動きが遅い場合、部分的に過度に熱が集中し、部品が損傷する可能性があります。そのため、エネルギーが正確に必要な場所に届くように、反射板を使用します。
長所と短所
最大の利点は、これが「グリーン」な方法であることです。溶剤に含まれるVOCを排除でき、施設の炭素排出量も減少します。また、古いオーブンシステムよりもずっと小型です。単に交換すれば済みます。
しかし、完璧ではありません。赤外線は、障害物のない状態でしか効果的に機能しません。部品の形状が複雑だったり、深い穴があったりすると、熱が隅々まで行き渡りません。この場合は、ランプの位置を調整したり、回転式の装置を追加して、すべての面に均等に熱が行き渡るようにする必要があります。