クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つためには、暖房は単に部屋を暖めるだけのものではありません。それは、微粒子との戦いでもあるのです。
半導体製造工場では、状況は非常に厳しいです。わずかな汚れや金属片があっただけで、ウェハーが台無しになってしまいます。そうならないように、私たちは高純度の合成石英とテフロンで絶縁された配線を使用しています。
石英の利点 赤外線ランプには高純度の合成石英を使用します。これは、ガスが漏れ出さないからです。通常のガラスや安価な素材は、高温になるとガスを放出してしまいます。これはクリーンルームでは大問題です。一方、合成石英は極端な温度でもしっかりとした状態を保ち、微細な破片が作業エリアに飛び散ることはありません。
配線も見逃せない 加熱要素は重要ですが、実際には配線が先に壊れてしまうことがあります。そのため、このヒーターにはテフロン（PTFE）でコーティングされた配線を使用しています。これは、放射熱にさらされても煙を出したり劣化したりしないからです。もし普通のPVCを使ったら、外装が溶けてVOCが空気中に放出されてしまいます。最悪です。テフロンは安定している上、取り付け時に何かが擦れたり落ちたりすることもありません。
妥協点（完璧なものはない） しかし、高純度の石英は硼珪酸ガラスよりももろいです。適当な手袋を使ってはいけません。必ず静電気の発生しない手袋を使わないと、問題が起きます。また、テフロン配線は熱に強いですが、曲げ方にも注意が必要です。設置時に配線を曲げてしまうと、絶縁層が壊れてしまう可能性があります。ゆっくりと行動しましょう。
実際の動作原理 これらのランプは、正確で短波長の赤外線エネルギーを放出します。そのおかげで、基材を直接加熱できます。空気やチャンバーの壁を加熱するのにエネルギーを無駄にすることがありません。これにより、HVACシステムの負担が軽減され、微粒子の量も適切に保たれます。
非常に高速です。そして、狭い半導体製造装置の中にも収まります。