悪夢を止める：耐破壊性のある赤外線ランプ 負荷の高い製造現場では、ランプが壊れると単なるメンテナンス上の問題にとどまらず、大きな災害となります。 石英管が割れると、単に電球だけが失われるわけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度割れてしまうと、その...

高効率なIRランプを使う半導体製造装置では、このような問題に直面することがあります。ランプを点灯すると、すぐに装置全体が熱を吸収し始めます。これは厄介な状況です。その放射熱を制御する手段がないため、熱はウェーハだけでなく、あちこちに散らばります。内部の壁に当たってチャassis全体が巨大な放熱体と...

1個の壊れたランプが全てのウェーハを台無しにするのを防ごう 高負荷の製造環境で働いている人なら、その恐ろしい状況をよく知っているでしょう。1つのランプが壊れるだけで、作業中の全てのウェーハが廃棄処分になってしまいます。 単に熱が出なくなるだけではありません。破損した石英管はまるでガラスの手榴弾のよ...

ファブ内での処理時間を短縮するために：なぜIR硬化法が強制送風式より優れているのか もしまだ強制送風式を使っているのであれば、毎日「時間的なコスト」を支払っていることになります。 空気を加熱する仕組みを考えてみてください。基板が何かを感じる前に、まずはチャンバー全体や壁、そして空気自体を温めなけれ...

半導体製造工場における炭素削減：重要なのはハウジングです 現在、すべての半導体製造工場は、ネットゼロ目標を達成するために苦労しています。明らかな解決策としては、従来の抵抗加熱方式を精密な短波赤外線システムに置き換えることです。しかし、実際には、ランプ自体は問題の一部に過ぎません。 本当に重要なのは...

ウェーハが加熱されるのを待って時間を無駄にするのはやめましょう。 もし依然として半導体加工に熱風循環方式を利用しているなら、それは単なる待つだけの作業に過ぎません。 対流の仕組みを考えてみてください。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは非常に遅いプロセスです。そして...

ヒーターと戦うのはやめましょう：なぜカーボンファイバー式IRランプが優れているのか 現代の製造ラインを構築する際に最も避けたいのが、1970年代のような古臭いヒーターシステムです。古いタイプのヒーターは反応が遅く、効率も悪い。デジタル化が進んだ今日では、そのような遅さは大きな問題となります。 そこ...