Het juiste reflector gebruik voor het drogen van wafers
Wanneer je wafers in een halfgeleiderfabriek droogt, speel je een gevaarlijk spel met hitte. Eén verkeerde beweging kan ertoe leiden dat de wafers vervormen of chemisch worden verontreinigd.
Daarom maken we gebruik van infraroodstraling voor het drogen. Hierdoor wordt de energie rechtstreeks naar het substraat gestuurd. Er is geen behoefte om te werken met hete lucht of schadelijke oplosmiddelen. Het is schoner en efficiënter. Bovendien voldoet dit aan de ‘groene’ standaarden die we allemaal nastreven, doordat er minder afval ontstaat.
Waarom de reflector belangrijk is
Een infraroodlamp op zichzelf is nogal chaotisch: de straling wordt in alle richtingen uitgestraald. Als je de lamp gewoon in een behuizing plaatst, gooi je eigenlijk de helft van de energie weg.
We lossen dit op door reflectoren te gebruiken die gemaakt zijn van hoogwaardig aluminium of verguld metaal. Deze reflectoren vangen de verspilde energie op en kaatsen deze terug naar de wilde. Hierdoor verdubbelt de hoeveelheid hitte die op de wilde terechtkomt. We passen deze reflectoren zo aan dat ze specifiek kortegolfd infrarood kunnen reflecteren. Op deze manier bereikt de hitte het fotoreceptor of het droogmiddel, zonder dat de drager van de wilde beschadigd raakt.
Omgaan met de hitte
Lampen met hoge vermogens worden enorm heet. Als de reflector geen perfecte parabolische of elliptische vorm heeft, ontstaan er ‘heiße punten’ op het silicium. En een scheve hoek? Dat leidt tot oneffen droging en waardeloze producten.
Het is ook een strijd tegen de wetten van de fysica. Als de reflector onder invloed van de hitte vervormt, verandert ook de focuspunt. Alles wordt dan onstabiel. Daarom maken we deze reflectoren zo dat ze hun vorm behouden, zelfs onder zware omstandigheden.
De nadelen
Je zou denken dat meer reflectiviteit beter is, maar dat is niet zo simpel. Die hoogwaardige coatingen zijn gevoelig. Als je ze probeert te reinigen met schurende chemicaliën, raak je de reflectieve laag kwijt. Wees voorzichtig en houd je aan een strikt reinigingsprotocol om de reflectie te behouden.
En nog een tip: meer hittedichtheid betekent dat je stroomvoorziening en koelventilatoren harder moeten werken. Controleer dus goed de ventilatie in de behuizing. Als de ventilatoren niet goed genoeg zijn, maak je alleen maar een erg dure ‘oven’.