Op de productieafdeling is het zo dat een verschil van 0,5°C in de baktemperatuur tot nanometerprecisie kan zorgen voor veranderingen in de belangrijkste afmetingen van het product. Dit kan urenlang werk aan lithografie tenietdoen. Middengolf-Infraroodverwarmers zijn ontworpen om dit soort fouten te voorkomen.
Wat er echt toe doet Middengolf-Infraroodverwarmers leveren energie rechtstreeks af op de fotoresist en het substraat – snel en gestuurd. We houden de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C binnen de bakzone, terwijl de stabilité van de temperatuur binnen ±0,2°C blijft, zelfs onder belasting. De emissiviteit is aangepast aan silicium en andere gebruikelijke materialen, zodat er geen overschotten optreden tijdens het zachte of harde bakken.
Het verwarmingsapparaat is geschikt voor gebruik in een schone omgeving, met een ISO-classificatie van 1–100. De oppervlakken en sluitingen zijn zo geselecteerd dat er geen deeltjes worden gegenereerd tijdens het gebruik. De herhaalbaarheid van de thermische processen is hoog: elke batch bereikt dezelfde thermische condities, batch na batch.
Waarom dit nuttig is bij de verwerking van fotoresist Het zachte bakken dient erbij om verdunnende stoffen te verwijderen en de spanning in het materiaal te controleren. Het harde bakken zorgt ervoor dat de hechting tussen de lagen verbetert en dat het materiaal bestand is tegen corrosie. Met middengolf-Infraroodverwarmers blijven deze processen binnen strakke thermische grenzen. Hierdoor neemt de ruwheid van de lijnen af en ontstaan er minder defecten door temperatuurverschillen.
Dit resulteert in minder herwerkingen, een hogere productie-efficiëntie en betrouwbare controle over de afmetingen van het product. De energieverbruik wordt verminderd door gerichte verwarming, waardoor het apparaat 24/7 kan werken zonder onverwachte stilstanden.
Wat je moet doen bij de installatie Bij de installatie is het belangrijk om een precieze optische alignering te bereiken en om de elektrische stroomopwekking goed te regelen. De spanning en de connectoren moeten overeenkomen met die van de machine waarin het apparaat wordt gebruikt. Middengolf-Infraroodverwarmers zorgen voor uitstekende uniformiteit, maar het apparaat moet wel worden aangepast aan de grootte van de wafer en de geometrie van de draaibank.
Er wordt eerst een kort testperiode uitgevoerd om de emissiviteit af te stemmen op het materiaal dat wordt verwerkt. Eenmaal ingesteld, blijft het proces stabiel en is er weinig onderhoud nodig.