In de productiehal kan een CSP-linie op waferniveau zich geen temperatuursschommelingen veroorloven tijdens het verwerken en drogen van de fotoresist. Een verschil van 1°C tijdens het ‘soft bake’- of ‘hard bake’-proces kan leiden tot afwijkingen in de belangrijkste dimensies van de wafer. Bovendien kan vocht dat nog rest na het reinigen de kwaliteit van de productie negatief beïnvloeden. Daarom hebben we een infraroodverwarmer ontworpen voor deze processtappen – waar een nauwkeurige temperatuurregeling absoluut noodzakelijk is.
Wat technisch gezien belangrijk is:
We gebruiken kortegolf-infraroodstraling om de wafer snel en contactloos te verwarmen, met een uniformiteitsmarge van ±0,1°C. De kwarts-halogeenemitters zorgen ervoor dat de energie rechtstreeks in de fotoresist en het substraat terechtkomt. Hierdoor blijft de temperatuur stabiel en blijft het proces onder controle. U kunt de gewenste temperatuur instellen; de sensoren zorgen er dan voor dat deze temperatuur constant wordt gehouden, waardoor de dikte van de laag en eventuele restanten binnen de vereisten blijven.
Deze verwarmer is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100: er wordt geen stof gegenereerd, de materialen hebben een lage gasemissie en het oppervlak is zo glad dat het gemakkelijk gereinigd kan worden. De verwarmer kan 24/7 draaien, met regelmatige onderhoudsintervallen. Hierdoor hoeft u zich geen zorgen te maken over onverwachte stilstanden.
Waarom deze verwarmer geschikt is voor dit proces:
Deze verwarmer lost de belangrijkste problemen op die optreden bij het drogen van de wafer, het ‘soft bake’-proces en de daaropvolgende behandelingen. Het snelle opwarmen verkort de procestijd, zonder dat er sprake is van overdreven opwarming. De stabiele temperatuur zorgt er bovendien voor dat de variabiliteit in de eigenschappen van de fotoresist minimaal is. De energieverbruik neemt af, omdat de emitters alleen worden geactiveerd wanneer dat nodig is. Hierdoor behoudt u een constante dikte van de laag en minder defecten na het reinigen. De resultaten zijn een hogere productiekwaliteit en minder afval – wat rechtstreeks te maken heeft met de goede temperatuurregeling.
Wat u moet weten:
Voor de installatie moet u de interfaces van de apparatuur goed afstemmen: de montagepatronen, type aansluitingen en spanning moeten overeenkomen met die van uw platform. De verwarmer presteert het beste wanneer de zichtlijn vrij is en de reflecterende oppervlakken goed worden beheerd. Anders kunnen er hete plekken ontstaan. Plan regelmatige kalibraties van de pyrometer in en houd u aan het schema voor het vervangen van de emitters. Op deze manier blijft de uniformiteit van ±0,1°C behouden en blijft het proces onder controle.