Zorgen dat je wafer echt schoon blijft drogen
Wanneer je MEMS-sensorwafern droogt, is hitte nog maar de helft van het verhaal. Het echte probleem zijn de deeltjes die vrijkomen tijdens het drogen. In een klasse-100 schone ruimte kan één klein stukje oude draad of wat uitgaande lijm al een hele lading sensoren beschadigen. Dit is frustrerend, kostbaar en volledig te voorkomen.
Daarom gebruiken we IR-lampen gemaakt van zeer zuiver synthetisch kwarts. Deze lampen veroorzaken geen vervuiling.
Waarom kwarts eigenlijk werkt
De meeste verwarmers maken gebruik van metalen behuizingen of keramische onderdelen. Het probleem is dat deze materialen na verloop van tijd microdeeltjes afgeven. Onze kwartslampen werken anders: ze gebruiken stralingswarmteoverdracht. Hierdoor gaat de warmte rechtstreeks van de draad naar de wafer. Er is geen tussenliggend materiaal dat vuil op de sensoren kan achterlaten. We gebruiken een speciaal type zeer zuiver kwarts, zodat het glas niet breekt of gassen afgeeft, zelfs bij hoge temperaturen.
Het compromis: vermogen versus warmte
Om een snelle droogtijd te bereiken, moeten we veel vermogen in een zeer kleine ruimte stoppen. Dat werkt wel, maar er is een nadeel: het oppervlak van de lamp wordt extreem heet. Als je koelventilatoren of koelpaden niet goed genoeg zijn, kan dat leiden tot oververhitting van de lamp of de machine. Voordat je deze lampen in een kleine ruimte installeert, moet je zeker controleren hoeveel lucht er doorheen stroomt. Dit bespaart je later veel problemen.
Het gemak vergroten
We weten dat stilstand erg storend is, dus we hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. We gebruiken standaardconnectoren, zodat je gewoon de oude lamp kan vervangen door een nieuwe. Je hoeft niet urenlang de hele installatie opnieuw in te stellen.
We behandelen het kwarts ook zodat er geen krassen op het oppervlak ontstaan. Dit zorgt ervoor dat de warmte gelijkmatig over de hele wafer wordt verdeeld. Dit is belangrijk voor de dunne MEMS-membraanen, die beschadigd kunnen raken als ze in contact komen met een ‘hot spot’.
Een laatste tip: houd het glas schoon. Als je vingerafdrukken of huidvet op het kwarts achterlaat, blijven deze in het glas zitten. Dan heb je een permanente koude plek, en moet je de lamp vervangen. Gebruik handschoenen en houd het glas schoon, dan hoef je je geen zorgen te maken.