Op de productielijn ligt een sappierwafel van 150 mm klaar om te worden verwerkt met behulp van fotoresistent. Hier geldt dat zelfs een temperatuurschommeling van een halve graad al voldoende is om de kritieke afmetingen van de wafel te beïnvloeden. Bovendien kan één enkel deeltje al tot problemen leiden. De heater moet dus perfect aansluiten bij de vereisten van het proces – niet andersom.
Wat er echt toe doet We bouwen deze heaters rondom korte-golflengtehalogeenkwarts-elementen en een constructie met lage thermische massa. Hierdoor wordt de temperatuur in minder dan een seconde geregeld, waardoor de uniformiteit van de temperatuur op het oppervlak van de wafel op ±0,1°C blijft. De instellingen van 80°C tot 300°C blijven binnen ±0,5°C consistent, zodat zowel het zachte als het harde bakproces volgens de specificaties verloopt. De hete zone is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1; de materialen die worden gebruikt, helpen om het aantal deeltjes minimaal te houden en voorkomen dat er gas vrijkomt. De vermogensdichtheid wordt aangepast aan de grootte van de wafel en de thermische eisen. Het geheel is zo ontworpen dat het 24/7 betrouwbaar kan werken, zonder onverwachte stilstand.
Waarom dit werkt in de lithografie In de lithografiepraktijk kan je niet elke keer rekening houden met eventuele temperatuurschommelingen wanneer de sappierwafel reageert op warmte. Deze heater zorgt ervoor dat de temperatuur constant blijft, waardoor er minder afval ontstaat en de setteltijd korter wordt. Efficiënte couplanten en goede isolatie zorgen er bovendien voor dat de energieverbruik beperkt blijft, zodat de operationele kosten lager zijn, zonder dat de productiesnelheid afneemt.
Voor productielijnen die sappiersubstraten gebruiken, betekent deze reproduceerbaarheid minder herwerkzaamheden en stabiele opbrengsten.
Wat je moet voorbereiden bij de installatie Bij de installatie moet de interface van de chuck goed worden afgestemd en moet het optische pad goed worden uitgelijnd met de lampen. Het vervangen van componenten is eenvoudig, maar het kwarts moet zorgvuldig worden behandeld – kleine scheuren kunnen later problemen opleveren. De heater past zich goed aan bij de meeste robots die worden gebruikt voor het hanteren van wafels. Als je echter oudere apparatuur gebruikt, moet je rekenen op een maatwerkbracket en enkele aanpassingen in de bedrading om de originele specificaties na te bootsen.
Voer eerst een kort testproces uit om de instellingen vast te stellen en om te controleren of de heater ook werkt zoals verwacht, in jouw eigen omgeving.