在半导体制造厂中减少碳排放，关键在于照明系统。目前，所有的半导体工厂都在努力实现净零排放的目标。显而易见的解决方案就是用精确的短波红外加热系统来取代传统的电阻式加热器。但问题在于：光源本身只是解决问题的一半而已。
真正的关键在于不锈钢外壳的质量。如果外壳的制造精度不够高，那么大量的能量就会被白白浪费掉。
阻止热量流失
如果你想减少碳排放，就必须避免热量的流失。就这么简单。
我们使用高品质的不锈钢来制造外壳，因为这种材料能够承受极高的温度变化。如果外壳出现变形，那就麻烦了。不合格的外壳会导致红外辐射泄漏到洁净室里，这样一来，空调系统就需要更加努力地工作来补偿，从而使得能源成本大幅上升。
因此，我们采用精确的弯曲和TIG焊接技术来确保外壳的密封性。这样，热量就能集中在晶圆上，而不会让整个房间变热。
反射效应的重要性
我们并不是随便选择一块钢板作为外壳材料。我们会仔细调整其内部结构，以确保其反射率达到最佳状态。
通过更有效地集中红外光束，我们可以降低灯具的功率，同时仍能保持晶圆的适当温度。这样，我们既保持了生产效率，又降低了能耗。这真是双赢的局面。
平衡之道
当然，这其中也存在一定的权衡。较厚的不锈钢会增加热质量，这意味着在系统启动时，需要更多的时间才能达到工作温度。
外壳的厚度也需精心控制。如果太薄，外壳就会振动或出现泄漏；如果太厚，则会影响系统的响应速度。所以，必须找到最佳的平衡点。
适用于实际应用
我们设计的这些产品可以替代那些效率低下的旧式加热装置。它们具有高密度输出功能，能使热量均匀地分布在整个基板上。如果尺寸公差不准确，就容易出现局部过热的情况，而局部过热会导致晶圆报废。
没人愿意因为外壳制造不当而浪费一批晶圆。